'تطوير الجيل الثالث من أشباه الموصلات بقوة' هو السياسة الصناعية الرئيسية الوطنية منذ الخطة الخمسية الثانية عشرة '. من البحث العلمي إلى التصنيع، استثمرت الدولة موارد مالية ضخمة لتعزيز تطوير صناعة أشباه الموصلات من الجيل الثالث في الصين واستبدال الواردات في السلسلة الصناعية. وفي الوقت الحاضر، مقارنة بالمستوى الفني للصناعة الشاملة واليابان والولايات المتحدة، تضيق الفجوة تدريجياً، وهو المجال الأكثر واعدة للحاق بالركب.
إن الجيل الثالث من أشباه الموصلات في الجزء العلوي من سلسلة الصناعة —— مجال المواد ليس أسوأ من المواد الأجنبية، بل إن بعضها أفضل منها. في السوق النهائية للسلسلة الصناعية، الطلب المحلي لدينا هو الأكبر. ما نفتقر إليه هو رابط الإنتاج والتصنيع الوسيط. بمجرد مواكبة الرابط الوسيط للمعدات والتكنولوجيا، سنشكل حقًا القدرة على التوطين والتحسين والتكرار للمجالات العليا والمتوسطة والدنيا للصناعة، وسيتجاوز التطوير قريبًا الدول الأجنبية.
الجيل الثالث من معهد أبحاث أشباه الموصلات في مقاطعة جيانغسو في مارس 2021، وافقت وزارة العلوم والتكنولوجيا على بناء 'الجيل الثالث الوطني لمركز ابتكار تكنولوجيا أشباه الموصلات'، ويهدف إلى التركيز على الجيل الثالث من التكنولوجيا الأساسية لسلسلة صناعة أشباه الموصلات، من خلال بناء الإنتاج مع تكامل منصة الخدمة العامة، وبناء الجيل الثالث من التحقق من الصناعة البديلة المحلية للمعدات الأساسية لأشباه الموصلات، للجيل الثالث من قوة تطوير صناعة أشباه الموصلات.
(شكل معهد البحوث)
يعد مجهر القوة الذرية أحد معدات الكشف الأساسية في الجيل الثالث من تصنيع أشباه الموصلات، نظرًا لأن خشونة سطح رقاقة أشباه الموصلات المركبة تتراوح بين 0.3-0.5 نانومتر، فإن مجهر القوة الذرية فقط يمكنه تلبية متطلبات دقة الكشف في هذا النطاق.
وقعت شركة Caidao Precision تعاونًا استراتيجيًا مع شركة Jiangsu Third Generation Semiconductor Research Institute Co., LTD. يتم تضمين معدات مجهر القوة الذرية في نظام التحقق للجيل الثالث من المعدات المحلية لأشباه الموصلات التي يروج لها المعهد، ويتم تحسين مؤشرات الأداء باستمرار لتلبية احتياجات الاختبار للجيل الثالث من صناعة أشباه الموصلات.
من المؤكد أن هذا التعاون الاستراتيجي وخدمة التحقق الصناعي للمعدات المحلية سيساعدان دقة Caidao في تحسين الأداء المتنوع للمعدات المحلية مجهر القوة الذرية وتسريع سرعة دخول خدمة خط إنتاج أشباه الموصلات.
أصبحت Caidao مؤسسة وطنية ذات تقنية عالية في قياس الصور البصرية المتطورة وأدوات الفحص المختلفة، وأبحاث وتطوير معدات الاختبار الأوتوماتيكية CMM وAOI، وخدمات الإنتاج والمبيعات.