|
| الكمية: | |
|---|---|
أف أم 12
كايداو
جدول مسح تبديل مستوى الجهد الكهربائي ذو الحلقة المغلقة المستقلة بثلاثة محاور لتحقيق مسح عالي الدقة على نطاق واسع ؛
مسح مستقل ثلاثي المحاور، XYZ لا يؤثر على بعضها البعض، مناسب جدًا للكشف عن المواد والتضاريس ثلاثية الأبعاد؛
التحكم الآلي في طاولة نقل العينة وطاولة الرفع، والتي يمكن برمجتها بشكل تعسفي لمواقع متعددة لتحقيق الكشف التلقائي السريع؛
تصميم رأس المسح من النوع القنطري، وقاعدة رخامية، ومرحلة الامتزاز الفراغي، ومرحلة الامتزاز المغناطيسي؛
يتم التحكم في المحرك تلقائيًا عن طريق طريقة إدخال الإبرة الذكية مع الكشف التلقائي عن السيراميك الكهرضغطي لحماية المسبار والعينة؛
تحديد المواقع بالمجهر الضوئي بمساعدة عالية الطاقة، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موضع المسبار ومنطقة مسح العينات؛
لا تتطلب مرحلة المسح الكهرضغطية ذات الحلقة المغلقة تصحيحًا غير خطي، كما أن توصيف النانومتر ودقة القياس أفضل من 99.5%.
وضع العمل: وضع النقر، وضع الاتصال
الوضع الاختياري: الاحتكاك، الطور،
منحنى القوة المغناطيسية أو الكهروستاتيكية: منحنى القوة FZ، منحنى RMS-Z
طريقة المسح XY: طريقة التقريب للعينة، مرحلة الترجمة الانضغاطية للحلقة المغلقة
طريقة المسح Z: طريقة التقريب المحتملة
نطاق المسح XY: حلقة مغلقة 100um×100um
نطاق المسح Z: 5um
دقة المسح: حلقة مغلقة XY اتجاه 0.5 نانومتر، اتجاه Z 0.05 نانومتر
XY مرحلة العينة: المحرك سائق، يتحرك بدقة
نطاق الحركة XY 1um: 100 × 100 مم (اختياري 200 × 200 مم، 300 × 300 مم)
مرحلة العينة: ضياء 100 مم (اختياري 200 مم، 300 مم)
وزن العينة 0.5 كجم
Z مقعد مرتفع: التحكم في محرك المحرك، خطوة دقيقة 10 نانومتر
Z نطاق سفر المقعد المرتفع: 15 مم (اختياري 20 مم، 25 مم)
الموقع البصري: 5X len (اختياري 10X/20X)
الكاميرا: 5 ميجابكسل رقمي CCD
معدل المسح: 0.6 هرتز-30 هرتز
زاوية المسح: 0-360 درجة
نظام التشغيل: Windows XP/7/8/10
الواجهة: USB 2.0/3.0
