Microscópio atômico AFM 12 da indústria de wafer de 12' polegadas

Introdução ao microscópio atômico da indústria de wafer

Mesa de varredura de mudança de nível de tensão de circuito fechado independente de três eixos para obter varredura de alta precisão em grande escala;
Varredura independente de três eixos, XYZ não afeta um ao outro, muito adequado para material tridimensional e detecção de topografia;
Controle motorizado da mesa móvel de amostra e mesa de elevação, que pode ser programada arbitrariamente para múltiplas posições para realizar detecção automática rápida;
Design de cabeça de digitalização tipo pórtico, base de mármore, adsorção a vácuo e estágio de adsorção magnética;
O motor é controlado automaticamente pelo método inteligente de inserção de agulha com detecção automática de cerâmica piezoelétrica para proteger a sonda e a amostra;
Posicionamento de microscopia óptica assistida de alta potência, observação em tempo real e posicionamento da sonda e área de digitalização de amostras;
O estágio de varredura piezoelétrica de circuito fechado não requer correção não linear e a caracterização nanométrica e a precisão da medição são melhores que 99,5%.

Parâmetros do microscópio atômico da indústria de wafer

Modo de trabalho: Modo de toque, modo de contato
Modo opcional: Fricção, Fase, Magnético ou Eletrostático
Curva de força: Curva de força FZ, curva RMS-Z
Método de digitalização XY: Método de aproximação de amostra, estágio de tradução piezoelect de loop fechado
Método de digitalização Z: Método de aproximação de problema
Faixa de digitalização XY: loop fechado 100um×100um
Faixa de digitalização Z: 5um
Resolução de digitalização: direção XY de loop fechado 0,5 nm, direção Z 0,05 nm
amostra XY Estágio: Driver do motor, movendo-se com precisão de 1um
Faixa de movimento XY: 100 × 100 mm (Opcional 200 × 200 mm, 300 × 300 mm)
Estágio de amostra: Diâmetro 100 mm (Opcional 200 mm, 300 mm)
Peso da amostra≤ 0,5 kg
Banco elevado Z: Controle do driver do motor, passo mínimo 10 nm
Faixa de deslocamento do banco elevado Z: 15 mm (opcional 20 mm, 25mm)
Localização óptica: 5X len (opcional 10X/20X)
Câmera: CCD digital de 5mp
Taxa de digitalização: 0,6Hz-30Hz
Ângulo de digitalização: 0-360°
Sistema operacional: Windows XP/7/8/10
Interface: USB 2.0/3.0

Aplicações de microscópio atômico da indústria de wafer