Компания Caidao независимо разработала и завершила производство первого в Китае промышленного атомно-силового микроскопа с диагональю 12 дюймов.

Caidao Precision - первая компания в Китае, которая полностью разработала «прецизионное сверхточное промышленное микроскопическое оборудование», уделяя основное внимание полупроводниковой и пан-полупроводниковой промышленности. В начале 2019 года Caidao активно занимается разработкой полупроводникового измерительного оборудования и приветствует появление возможности расширения мощностей по производству передовых полупроводниковых кремниевых пластин в Китае.

Атомно-силовой микроскоп является одним из трех основных микроскопических инструментов.

Атомно-силовой микроскоп является одним из трех основных инструментов микроскопии (оптический, электронный и атомно-силовой микроскоп). Он был представлен в 1880-х годах и представляет собой микроскопический инструмент с высочайшей трехмерной визуализацией и микроскопической точностью. В настоящее время поставщиками атомно-силовых микроскопов являются в основном производители иностранных брендов, а производители иностранных брендов - это в основном научно-исследовательское оборудование для небольших образцов, и лишь немногие производители могут предоставить атомно-силовые микроскопы для больших образцов на уровне пластин.

После более чем трех лет усилий, в марте 2023 года, Caidao выпустила отечественный «промышленный» 12-дюймовый атомный микроскоп уровня пластины (нано-микроскоп), чтобы заполнить пробел в отечественной промышленности. 

Это оборудование является одним из незаменимых устройств для измерения шероховатости и размеров полупроводниковых материалов и устройств, особенно в области передовых полупроводниковых процессов ниже 28 нм, поставки отечественного измерительного оборудования практически отсутствуют. Появление 12-дюймового атомно-силового микроскопа уровня пластины имеет большое значение для индустрии полупроводникового оборудования.

Атомно-силовой микроскоп с диагональю 12 дюймов обеспечивает точность на наноуровне.

12-дюймовый атомно-силовой микроскоп на уровне пластины имеет точность на наноуровне: ось XY достигает 0,3 нм, а ось Z — 0,035 нм. Скорость сканирования значительно улучшена: скорость сканирования каждого изображения составляет 20–50 секунд, что намного выше, чем обычные 5–8 минут на скорость сканирования. Устройство также имеет множество преимуществ, таких как открытие одной кнопкой, автоматическая смена таблеток, автоматический ввод иглы и двойной экран.

Успешная разработка атомно-силового микроскопа позволила прецизионному микроскопическому оборудованию Caidao выполнить полную компоновку от микрона, субмикрона до нано. Оригинальное оборудование обнаружения и измерения компании, благодаря интеграции, точность обнаружения может быть повышена до нанометрового уровня.

В сочетании со способностью компании исследовать и разрабатывать оборудование для автоматизации производства, компания будет предоставлять решения по автоматизации производственных линий в соответствии с требованиями тестирования литейного производства и производительности производственной линии.