قامت شركة Caidao بشكل مستقل بتطوير وإكمال أول مجهر قوة ذرية للرقاقة الصناعية مقاس 12 بوصة في الصين

Caidao Precision هي أول شركة في الصين تقوم بتصميم 'المعدات المجهرية الصناعية الدقيقة للغاية' بشكل كامل، مع التركيز بشكل أساسي على صناعات أشباه الموصلات وأشباه الموصلات الشاملة. في بداية عام 2019، قامت شركة Caidao بالتخطيط بنشاط في مجال معدات قياس أشباه الموصلات، ورحبت بوصول فرصة التوسع في الطاقة الإنتاجية لرقائق السيليكون الكبيرة لأشباه الموصلات المتقدمة في الصين.

يعد مجهر القوة الذرية أحد الأدوات المجهرية الثلاثة الرئيسية

مجهر القوة الذرية هو أحد الأدوات المجهرية الرئيسية الثلاث (مجهر القوة الضوئية والإليكترونية ومجهر القوة الذرية). تم تقديمه في ثمانينيات القرن التاسع عشر وهو الأداة المجهرية التي تتمتع بأعلى دقة تصوير ثلاثي الأبعاد ودقة مجهرية. في الوقت الحاضر، موردي مجاهر القوة الذرية هم في الأساس مصنعون للعلامات التجارية الأجنبية، والشركات المصنعة للعلامات التجارية الأجنبية هي بشكل أساسي معدات البحث العلمي للعينات الصغيرة، وعدد قليل من الشركات المصنعة يمكنها توفير مجاهر القوة الذرية ذات مستوى الرقاقة ذات العينات الكبيرة.

بعد أكثر من ثلاث سنوات من الجهود، في مارس 2023، أطلقت Caidao المجهر الذري المحلي 'النهاية الصناعية' مقاس 12 بوصة على مستوى الرقاقة (مجهر النانو)، لسد الفجوة في الصناعة المحلية. 

هذه المعدات هي واحدة من المعدات التي لا غنى عنها لقياس الخشونة والحجم الرئيسي للمواد والأجهزة شبه الموصلة، وخاصة في مجال عملية أشباه الموصلات المتقدمة أقل من 28 نانومتر، وإمدادات معدات القياس المحلية فارغة تقريبًا. يعد إدخال مجهر القوة الذرية على مستوى الرقاقة مقاس 12 بوصة ذا أهمية كبيرة لصناعة معدات أشباه الموصلات.

مجهر القوة الذرية على مستوى الرقاقة مقاس 12 بوصة دقيق على مستوى النانو.

يتميز مجهر القوة الذرية على مستوى الرقاقة مقاس 12 بوصة بالدقة على المستوى النانوي، حيث يصل محور XY إلى 0.3 نانومتر ويصل المحور Z إلى 0.035 نانومتر. تم تحسين سرعة المسح بشكل كبير، حيث تبلغ سرعة مسح كل صورة 20-50 ثانية، وهي أعلى بكثير من السرعة المعتادة التي تتراوح بين 5-8 دقائق لكل سرعة مسح. يتمتع الجهاز أيضًا بالعديد من المزايا، مثل الفتح بزر واحد، وتغيير الجهاز اللوحي تلقائيًا، وإدخال الإبرة تلقائيًا، وعرض الشاشة المزدوجة.

إن التطوير الناجح لمجهر القوة الذرية قد مكّن معدات الكشف المجهري الدقيق Caidao من إكمال التصميم الكامل من الميكرون، ودون الميكرون، إلى النانو. معدات الكشف والقياس الأصلية للشركة، من خلال التكامل، يمكن تحسين دقة الكشف إلى مستوى النانومتر.

إلى جانب قدرة الشركة على البحث وتطوير معدات أتمتة الإنتاج، ستوفر الشركة حلول أتمتة خط الإنتاج وفقًا لمتطلبات الاختبار الخاصة بمسبك الرقاقات وإنتاجية خط الإنتاج.